電子氣體簡介：電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、 LED、OLED）、太陽能(9.960, 0.13, 1.32%)電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。通常半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使 用非常多的氣體，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、 摻和、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等，在 IC 生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，使用 的電子氣體有差不多有 100 多種，核心工段常見的在 30 種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具 有半導(dǎo)體性能，它又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質(zhì)超標(biāo)，都將 導(dǎo)致質(zhì)量嚴(yán)重缺陷，嚴(yán)重時會因不合格氣體的擴(kuò)散，導(dǎo)致整個生產(chǎn)線被污染，乃至生產(chǎn)全面癱瘓。因此， 電子氣體是電子制造過程關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，是名副其實的電子工業(yè)“血液”。

  電子氣體的原料主要為空氣分離氣體、石油化工和煤化工生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的低純度原料氣、廢氣和 其它基礎(chǔ)化工原料。主要原材料來源廣泛，市場供應(yīng)充足，較容易從相關(guān)原材料供應(yīng)廠家獲得。我國大型 煉鋼企業(yè)以及化肥企業(yè)基本配備了空氣分離設(shè)備，空分氣體供應(yīng)量大且價格穩(wěn)定。電子特種氣體對原料 氣體的消耗量占石油化工和煤化工原料氣產(chǎn)量的比例很小，穩(wěn)定的石化和基礎(chǔ)化工行業(yè)能向電子特種氣 體行業(yè)提供充足的原材料。“十三五”規(guī)劃對環(huán)境保護(hù)以及工業(yè)廢氣排放目標(biāo)的進(jìn)一步明確，上游行業(yè)的 供應(yīng)將更為充足。氣體容器因能長期使用，在電子氣體成本中占比較低，價格波動對行業(yè)影響較小。

  電子氣體的分類及應(yīng)用：電子氣體種類繁多，在電子產(chǎn)品制作工藝中應(yīng)用廣泛。目前常用的電子氣體純氣有 60 多種，混合氣 有 80 多種。電子氣體可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、 摻雜和蝕刻等工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子特種高純氣體-湖南遠(yuǎn)創(chuàng)氣體大量供應(yīng)。電話：18569052610