三氯化硼（BCl3），是一種有強烈臭味的氣體，用于制各種硼化合物，也用作有機合成催化劑、硅酸鹽分解時的助溶劑以及對鋼鐵進行硼化等。硼和鹵素反應(yīng)產(chǎn)生硼的三鹵化物。但在工業(yè)上，三氯化硼是以氧化硼與碳在500 ℃中直接氯化制得。三氯化硼的常見用途如下：

1. 主要用作有機反應(yīng)催化劑，如酯化、烷基化、聚合、異構(gòu)化、磺化、硝化等。鑄鎂及合金時的防氧化劑。是制備鹵化硼、元素硼、硼烷、硼氫化鈉等的主要原料。還用于電子工業(yè)等。

2. 主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。還用于高純硼、氮化硼、碳化硼等陶瓷材料及有機硼化物的制備，也用于金屬的精煉提純以及光導(dǎo)纖維、耐熱涂料的制造。

3.用作半導(dǎo)體硅的摻雜源或有機合成催化劑，還用于高純硼或有機硼化合物的制取。